設備簡介

該真空爐是用石墨/鉬/鎢/感應作發(fā)熱元件的真空爐，主要應用于陶瓷、硬質(zhì)合金、復合材料等在真空或保護氣氛中高溫燒結(jié)或退火等熱處理，也可以供金屬材料在高真空條件下的高溫熱處理或貴金屬材料的除氣處理。

產(chǎn)品特點

采用臥式、側(cè)開門結(jié)構(gòu)：裝卸物料，操作方便；

升溫快：升溫速率10℃/分鐘(≤1600℃)，升溫速率5℃/分鐘(＞1600℃)；

設計優(yōu)化好：加熱室熱場經(jīng)熱態(tài)模擬計算，具有非常高的溫度均勻性、配置的加熱元件及隔熱層采用模塊化優(yōu)化設計；

采用多溫區(qū)控制：預留多個測溫孔，以便高溫監(jiān)測使用；

溫度均勻性好：平均溫度均勻性為±5℃（5點測溫，恒溫區(qū)1000℃保溫1h后檢測）；

冷卻速度快：可選配2bar-10bar氣體壓力下快速冷卻系統(tǒng)，保證工件熱壓完畢快速冷卻，高效運行；

穩(wěn)定性好：設備長時間運行穩(wěn)定，故障率非常低；

安全性能好：采用HMI+PLC+PID壓力傳感控制，安全可靠；

可拓展性強：可燒結(jié)、退火、脫脂、除氣等。

產(chǎn)品規(guī)格及技術指標

 一、定義

真空爐是一種在爐腔這一特定空間內(nèi)，利用真空系統(tǒng)（包括真空泵、真空測量裝置和真空閥門等組件）將爐腔內(nèi)部分物質(zhì)排出，以降低爐腔內(nèi)壓強，使其小于一個標準大氣壓，從而實現(xiàn)真空狀態(tài)的工業(yè)爐。

二、工作原理

真空爐的工作原理涉及一系列復雜的步驟，主要包括：

啟動真空系統(tǒng)，包括機械泵、維持泵等，對爐腔進行抽真空，降低其內(nèi)部壓強。

當真空度達到特定要求時，加熱系統(tǒng)開始工作，對爐腔內(nèi)的材料進行加熱處理。

在真空環(huán)境中，材料可以避免與空氣中的氧氣等發(fā)生化學反應，從而實現(xiàn)無氧化、無脫碳的加熱過程。

加熱完成后，可以進行快速冷卻或其他后續(xù)處理。

三、應用領域

真空爐在多個領域都有廣泛應用，包括：

電子行業(yè)：在集成電路的制造過程中，真空爐用于高溫退火和低壓化學氣相沉積，以提高芯片的質(zhì)量和可靠性。

航天航空業(yè)：用于制作高溫合金材料和先進陶瓷材料，這些材料經(jīng)真空熱處理后具有更高的強度和抗腐蝕性。

材料科學領域：在金屬材料的制備過程中，真空熱處理可以消除材料中的微觀缺陷和內(nèi)部應力，提高材料的整體性能。

四、優(yōu)缺點

優(yōu)點：

無氧化、無脫碳：真空環(huán)境避免了材料與空氣中的氧氣等發(fā)生化學反應，從而得到無氧化、無脫碳的清潔表面。

環(huán)保：對環(huán)境無污染，不需進行三廢處理。

高精度控溫：爐溫測定和監(jiān)控精度高，可提高產(chǎn)品質(zhì)量。

高能效：現(xiàn)代先進的真空爐采用優(yōu)質(zhì)隔熱材料，節(jié)能效果好。